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即将正式实施提醒
该标准将于 2027-02-01 起正式施行，距离生效尚有 122 天。建议相关企业及实验室尽早开展标准宣贯与合规调整。
即将实施
国家标准
电子元器件与信息技术
GB/T 42709.21-2026
半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
正式发布日期
2026-07-30
正式实施日期
2027-02-01
中国标准分类号 (CCS)
L55
国际标准分类号 (ICS)
31.20031
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
工业和信息化部（电子）
归口技术委员会
全国集成电路标准化技术委员会、全国微机电技术标准化技术委员会
主要起草单位
中国电子技术标准化研究院、工业和信息化部电子第五研究所、上海烨映微电子科技股份有限公司、深圳稀导技术有限公司。
主要起草人员
刘若冰、黄钦文、徐德辉、赵利平。
国际标准采标情况
IEC 62047-21:2014 (IDT (等同采用))
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 42709.21-2026
即将实施
● 现行有效版本 (当前页面)
半导体器件 微电子机械器件 第21部分：MEMS薄膜材料泊松比测试方法
正式发布：2026-07-30
实施施行：2027-02-01
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