GB/T 42709.6-2026

半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

🔬 标准体检与查新报告

正式发布日期

2026-07-30

正式实施日期

2027-02-01

中国标准分类号 (CCS)

L55

国际标准分类号 (ICS)

31.20031

📑 标准核心属性与编制信息

主管部门 / 发布部门工业和信息化部（电子）

归口技术委员会全国集成电路标准化技术委员会、全国微机电技术标准化技术委员会

主要起草单位浙江大立科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、杭州大立微电子有限公司、中国电子技术标准化研究院、国科大杭州高等研究院、工业和信息化部电子第五研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、复旦大学义乌研究院、中国计量大学、深圳市金岷江智能装备股份有限公司。

主要起草人员钱剑、焦斌斌、姜利军、刘若冰、刘世界、陈勇国、刘海涛、朱晓荣、潘峰、池积光、刘翔、马志刚、钱良山、肖克来提、李春来、唐国良、罗雯雯、康永印、陈亮、李方浩、张亮。

国际标准采标情况 IEC 62047-6:2009 (IDT (等同采用))

最后同步校验时间 2026-10-01

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GB/T 42709.6-2026 即将实施

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半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法

正式发布：2026-07-30 实施施行：2027-02-01

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