现行有效
国家标准
冶金与金属材料
GB/T 29056-2025
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry
正式发布日期
2025-10-31
正式实施日期
2026-05-01
中国标准分类号 (CCS)
H17
国际标准分类号 (ICS)
77.04077
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
国家标准委
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、青海丽豪清能股份有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司。
主要起草人员
万烨、郭树虎、刘见华、曹俊英、赵培芝、吴作木、宋丹、王春明、魏东亮、李强、冉祎、康俊勤、甘俊、汤艳。
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 29056-2025
现行
● 现行有效版本 (当前页面)
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
正式发布：2025-10-31
实施施行：2026-05-01
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