现行有效
国家标准
冶金与金属材料
GB/T 47080-2026
金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafer
正式发布日期
2026-01-28
正式实施日期
2026-08-01
中国标准分类号 (CCS)
H17
国际标准分类号 (ICS)
77.04077
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
国家标准委
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
中国科学院半导体研究所、德州学院、成都中科米格检测技术有限公司、中国石油集团工程材料研究院有限公司、河南碳真芯材科技有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司、山东大学、嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司、北京大学东莞光电研究院、浙江先导微电子科技有限公司、北京特思迪半导体设备有限公司、宁波晶钻科技股份有限公司、河南省惠丰金刚石有限公司、哈工大郑州研究院、南京同溧晶体材料研究院有限公司、湖北碳六科技有限公司、南京瑞为新材料科技有限公司、成都市玖展科技有限公司、佳睿福钻石(河南)有限公司。
主要起草人员
霍晓迪、曹繁秋、郑红军、王希玮、闫方亮、王少龙、屈鹏霏、王镇、金鹏、李红东、朱嘉琦、欧琳芳、陈继锋、王琦、于金凤、蒋继乐、张娟涛、张军安、王志强、李一村、李东振、吕继磊、徐良伟、黄亮、冯参军、赵继文。
国际标准采标情况
自主编制,未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 47080-2026
现行
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金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法
正式发布:2026-01-28
实施施行:2026-08-01
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