现行有效
国家标准
冶金与金属材料
GB/T 30868-2025
碳化硅单晶片微管密度测试方法
Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide
正式发布日期
2025-08-01
正式实施日期
2026-02-01
中国标准分类号 (CCS)
H21
国际标准分类号 (ICS)
77.04077
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
国家标准委
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达半导体股份有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、长飞光纤光缆股份有限公司、浙江材孜科技有限公司、连科半导体有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、河南中宜创芯发展有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、宁波合盛新材料有限公司、厦门中芯晶研半导体有限公司。
主要起草人员
姚康、许蓉、佘宗静、何烜坤、王英明、张红岩、齐菲、丁雄杰、李素青、刘小平、欧阳鹏根、潘文宾、晏阳、王志勇、王明华、胡润光、李明达、张超越、孙毅、赵丽丽、赵新田、陈基生。
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 30868-2025
现行
● 现行有效版本 (当前页面)
碳化硅单晶片微管密度测试方法
正式发布：2025-08-01
实施施行：2026-02-01
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