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发布日期：2026-10-26
关于征集《光刻机工件台速度稳定性测试 激光干涉法》等9项微光刻领域标准编制组成员的通知
发文单位：工信部电子标准院·集成电路标准组织
发文字号：CESI发〔2026〕2005号
中国电子技术标准化研究院（工信部电子标准院/全国信标委）权威动态：关于征集《光刻机工件台速度稳定性测试 激光干涉法》等9项微光刻领域标准编制组成员的通知。包含官方通知正文及附件文件直下链接。
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共 1 项| # | 标准代号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 穿透 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | CESI-12005 ↗ | 详见标准详情 | 意见征集 | 见详情 | 单标穿透 → |