现行有效
行业标准
无
SJ/T 11489-2015
低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
正式发布日期
2015-04-30
正式实施日期
2015-10-01
中国标准分类号 (CCS)
H83
国际标准分类号 (ICS)
29.045
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
工业和信息化部
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
主要起草人员
章安辉、何秀坤、刘兵 等
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-30
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
SJ/T 11489-2015
现行
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低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
正式发布：2015-04-30
实施施行：2015-10-01
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