现行有效
地方标准
仪器仪表与计量检测
JJF(沪) 116-2024
集成电路硅片平整度测量仪校准规范
正式发布日期
官方未列示
正式实施日期
2024-11-01
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
上海市市场监督管理局 / 上海市计量测试技术研究院(SIMT)
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
以正式出版纸质文本为准
主要起草人员
以正式出版纸质文本为准
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-22
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
JJF(沪) 116-2024
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集成电路硅片平整度测量仪校准规范
正式发布：未列明
实施施行：2024-11-01
🏛️ 所属官方发布公报 / 发文批次
上海市市场监督管理局关于发布《智能网联汽车车载激光雷达在线校准规范》等地方计量检定规程与校准规范目录的公告
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文号：沪市监量〔2024〕106号
发布机构：上海市市场监督管理局 / 上海市计量测试技术研究院(SIMT)
日期：2026-09-16
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