T/CEATEC 289—2026
深紫外激光器安全使用与防护要求
Requirements for safe use and protection of deep ultraviolet lasers
正式发布日期
2026-09-16
正式实施日期
2026-09-16
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
中国欧洲经济技术合作协会
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
北京云汉星驰激光技术有限公司江苏科耐激光科技有限公司武汉光至科技股份有限公司北京原标科技有限公司北京芯智擎科技有限公司
主要起草人员
杨帅帅鲍小志黄志华胡凤霞李 鹏
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-20
标准范围与核心技术摘要
本文件适用于输出波长为190nm～280nm的深紫外激光器的设备使用、防护、管理全流程。
🕸️ 知识图谱与标准拓扑关系网
深度涵盖：代际演变替代、同系列分部关联、归口技术委员会同门研制及国际对标
9 节点
11 连线
⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
T/CEATEC 289—2026
现行
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深紫外激光器安全使用与防护要求
正式发布：2026-09-16
实施施行：2026-09-16
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