T/CEATEC 294—2026
半导体制造用高纯碳化硅陶瓷吸盘技术规范
Technical specifications for high-purity silicon carbide ceramic chucks in semiconductor manufacturing
正式发布日期
2026-09-22
正式实施日期
2026-09-22
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
中国欧洲经济技术合作协会
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
中国科学院宁波材料技术与工程研究所无锡卓瓷科技有限公司浙江盛和精瓷新材料科技有限公司长春长光精瓷复合材料有限公司兰溪泛翌精细陶瓷有限公司潮州三环(集团)股份有限公司
主要起草人员
裴兵兵高赛魁赵喜明周立勋李华坚郑镇宏吴海波王彩俊付丽华曹 琪陆 稳吴西士张玉强刘泽华张天峰
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-20
标准范围与核心技术摘要
本文件规定了半导体制造用高纯碳化硅陶瓷吸盘的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。 本文件适用于真空吸附型与静电吸附型高纯碳化硅陶瓷吸盘。
🕸️ 知识图谱与标准拓扑关系网
深度涵盖：代际演变替代、同系列分部关联、归口技术委员会同门研制及国际对标
10 节点
11 连线
⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
T/CEATEC 294—2026
现行
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半导体制造用高纯碳化硅陶瓷吸盘技术规范
正式发布：2026-09-22
实施施行：2026-09-22
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