现行有效
行业标准
无
SJ/T 11761-2020
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
正式发布日期
2020-12-09
正式实施日期
2021-04-01
中国标准分类号 (CCS)
L 95
国际标准分类号 (ICS)
31.55
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
工业和信息化部
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
主要起草人员
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-29
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
SJ/T 11761-2020
现行
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200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
正式发布：2020-12-09
实施施行：2021-04-01
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