现行有效
行业标准
无
SJ/T 11865-2022
功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底
正式发布日期
2022-10-20
正式实施日期
2023-01-01
中国标准分类号 (CCS)
H 83
国际标准分类号 (ICS)
29.045
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
工业和信息化部
归口技术委员会
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
以正式出版纸质文本为准
主要起草人员
以正式出版纸质文本为准
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
权威标准深度数字化解析
实验方法与设备物资资产库
标准深度技术解析与标准化生产储备
标准代号：SJ/T 11865-2022
标准适用范围与技术主题 (Chapter 1 Scope)
本文件规定了功率器件用Φ150 mm n型碳化硅(SiC)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、 包装、运输和储存。 本文件适用于经抛光后制备的Φ150 mm n型SiC衬底，晶型为4H。
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
SJ/T 11865-2022
现行
● 现行有效版本 (当前页面)
功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底
正式发布：2022-10-20
实施施行：2023-01-01
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