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硅烷 CAS: 7803-62-5
Silicon tetrahydride
有机原料
2D 矢量分子结构式
多维分析谱图直达 已收录 1 种
基本理化与登记标识
CAS 登记号 7803-62-5
分子式 H4Si
分子量 (MW) 32.12 g/mol
EINECS 编号 232-263-4
中文别名 甲矽烷;RB-602硅烷偶联剂;RB-902硅烷偶联剂;硅烷;四氢化硅;甲硅烷;硅烷,四氢化硅
规范 SMILES [SiH4]
InChIKey BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N
主要用途与行业
应用 四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域,其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、... 查看详细工业用途与工艺规范
主要用途、行业应用与生产工艺 涵盖工业生产、分析检测、配方原料及安全限量
应用与特性说明 1

应用 四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域,其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年,由于我国集成电路产业发展迅速,超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间,这将使四氢化硅的消费量日益增长。

应用与特性说明 2

同时,由于太阳能市场的繁荣仍将持续,据预测,从2010年至2020年,全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体,是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国,每年消耗的多晶硅将近4000吨左右,每年消耗的四氢化硅约为200~300吨,有较大的接触人群。

应用与特性说明 3

用途 用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 用途 用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 类别 有害气体 毒性分级 中毒 急性毒性 吸入-大鼠 LC50: 9600 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0: 9600 PPM/4小时 爆炸物危险特性 与空气混合易爆 可燃性危险特性 易燃; 遇热分解有毒硅和易燃氢气; 与液体接触防止烫伤 储运特性 库房通风低温干燥; 与氧化剂、卤素分开存放 灭火剂 雾状水、泡沫、二氧化碳 职业标准 TLV-TWA 7 毫克/立方米。

理化性质与常数
熔点 -185 °C
沸点 -112 °C
密度 1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气密度 1.1 (vs air)
形态 colorless gas
比重 0.680
水溶解性 decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性 10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck 13,8562
暴露限值 TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化学物质信息 Silane (7803-62-5)
GHS 危险性与安全概述
危险品标志 F+,Xn
危险类别码 12-17-20
安全说明 9-16-33-36/37/39
危险品运输编号 UN 2203 2.1
WGK Germany 1
RTECS号 VV1400000
TSCA Yes
DOT Classification 2.1 (Flammable gas)
HazardClass 2.1
深度关联的国家与行业检测标准 共收录 0 项推荐/强制检测规范 (支持 HPLC/GC/MS 检测方法与基质穿透)
共收录 0 项标准
暂未录入该化合物的直接检测标准,系统已将该CAS号加入自动监控队列。