标准报批
收录 10 项标准
发布日期：2026-04-07
关于公开征求《半导体设备 集成电路制造用湿法设备测试方法》等10项行业标准报批意见的公示
发文单位：工业和信息化部科技司
发文字号：040808582676754-2026
【行业标准·标准报批】工业和信息化部科技司公示发文：关于公开征求《半导体设备 集成电路制造用湿法设备测试方法》等10项行业标准报批意见的公示。共包含 10 项重点标准。公众意见反馈截止日期：2026-05-07。状态标识：公示结束。