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即将正式实施提醒
该标准将于 2026-10-19 起正式施行，距离生效尚有 16 天。建议相关企业及实验室尽早开展标准宣贯与合规调整。
即将实施
团体标准
C3073 特种陶瓷制品制造
T/SCASH 0011-2026
半导体碳化硅制品 碳化硅晶舟
Semiconductor Silicon Carbide Products — Silicon Carbide (SiC) Wafer Boat
正式发布日期
2026-09-19
正式实施日期
2026-10-19
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
上海硅酸盐工业协会
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
沈阳星光技术陶瓷有限公司沈阳星光新材料有限公司浙江六方半导体科技有限公司北京北方华创微电子装备有限公司中国科学院金属研究所宁夏北瓷新材料科技有限公司中材高新氮化物陶瓷有限公司天津大学湖南大学
主要起草人员
任 云郝 岩刘长春孙鹏金叶小仙李殿浦黄海燕李 斌王再义唐明强隋天一谭瑞轩
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-29
标准范围与核心技术摘要
本文件适用于制备方法生产的6英寸、8英寸、12英寸带涂层的碳化硅晶舟，其他尺寸碳化硅晶舟也可参照执行本文件。
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
T/SCASH 0011-2026
即将实施
● 现行有效版本 (当前页面)
半导体碳化硅制品 碳化硅晶舟
正式发布：2026-09-19
实施施行：2026-10-19
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