⏳
即将正式实施提醒
该标准将于 2027-03-01 起正式施行，距离生效尚有 149 天。建议相关企业及实验室尽早开展标准宣贯与合规调整。
即将实施
国家标准
电子元器件与信息技术
GB/T 48095-2026
高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法
Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry
正式发布日期
2026-08-28
正式实施日期
2027-03-01
中国标准分类号 (CCS)
L 50
国际标准分类号 (ICS)
17.180.9917
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
中国科学院
归口技术委员会
全国光电测量标准化技术委员会、全国微机电技术标准化技术委员会
主要起草单位
南京理工大学、上海市计量测试技术研究院有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司、中国科学院微电子研究所、中国计量科学研究院、中国科学院空天信息创新研究院、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司、南京智群光电技术有限公司、苏州热工研究院有限公司、浙江大学苏州工业技术研究院、无锡华润上华科技有限公司。
主要起草人员
高志山、袁群、马剑秋、霍霄、雷李华、赵琳、何洪涛、徐爱东、时文华、鞠涛、史云涛、周维虎、施玉书、王璞、巩岩、李季、罗坤杰、徐志毅、陈红、夏长奉。
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
🕸️ 知识图谱与标准拓扑关系网
深度涵盖：代际演变替代、同系列分部关联、归口技术委员会同门研制及国际对标
8 节点
8 连线
🔒
知识图谱与拓扑关系需登录查看
深度涵盖代际演变替代、同系列分部关联、归口主管研制及国际对标。登录账号即可免费解锁完整力导向交互网络与节点穿梭。
8 实体节点
8 关联拓扑
免费注册 / 微信扫码一键登录
⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 48095-2026
即将实施
● 现行有效版本 (当前页面)
高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法
正式发布：2026-08-28
实施施行：2027-03-01
🎯 同类及相似标准智能推荐矩阵
基于中国标准分类号(CCS)、国际标准分类号(ICS)及归口技术领域的深度关联推荐
GB/T 48094-2026
即将实施
等离子体参数测试方法
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%
SJ/T 12076-2025
现行
硅基光电子芯片封装设计导则
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%
SJ/T 12075-2025
现行
硅基光电子工艺设计包通用要求
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%
SJ/T 12074-2025
现行
光通信用硅基光电子芯片晶圆级测试方法
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%
SJ/T 12073-2025
现行
100G相干光通信用硅光集成芯片技术规范
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%
GB/T 7962.13-2025
现行
无色光学玻璃测试方法 第13部分：导热系数
相同专业CCS分类分类号: L 50
匹配度 88%