追标
现行有效 国家标准 电子元器件与信息技术

GB/T 46699-2025

电子级四甲基硅烷
Electronic grade tetramethylsilane
正式发布日期
2025-10-31
正式实施日期
2026-05-01
中国标准分类号 (CCS)
L90
国际标准分类号 (ICS)
31.03031

📑 标准核心属性与编制信息

主管部门 / 发布部门 国家标准委
归口技术委员会 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位 南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、金宏气体股份有限公司、艾生科(江苏)化工科技有限公司、南大光电(淄博)有限公司。
主要起草人员 陈德义、徐文涛、曹可慰、茅炳荣、史泽远、陈功锋、张汝志、马瑞、孙明璐、李春华、孙鹏、张婷、赵俊莎、张健、鲁铮、李雪、高周、吴怡然、万烨、郝萍、郭威、魏良杰、毛国玉、汪晨、栗广奉、刘见华、刘立伟、张宝帅、孙丽丽、赵斌、曹益宁、陆平、张鹏、彭元兵、许胜霞、刘能巧、周礼、孟庆典、王艺潼、孙建、高朋、张佳瑶、钱瑶。
国际标准采标情况 自主编制,未等同采用国际标准
最后同步校验时间 2026-09-30

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自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条

共 1 个代际版本
GB/T 46699-2025 现行
● 现行有效版本 (当前页面)
电子级四甲基硅烷
正式发布:2025-10-31 实施施行:2026-05-01

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