现行有效
国家标准
化工与新材料
GB/T 47073-2026
表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
正式发布日期
2026-01-28
正式实施日期
2026-08-01
中国标准分类号 (CCS)
G04
国际标准分类号 (ICS)
71.040.4071
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
中国科学院
归口技术委员会
全国表面化学分析标准化技术委员会
主要起草单位
中石化石油化工科学研究院有限公司、季华实验室、中国计量科学研究院、河北工程大学、国家纳米科学中心。
主要起草人员
邱丽美、范燕、王海、侯俊先、武春霞、忻睦迪、徐鹏。
国际标准采标情况
ISO 23170:2022 (IDT (等同采用))
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 47073-2026
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表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
正式发布:2026-01-28
实施施行:2026-08-01
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