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即将正式实施提醒
该标准将于 2027-02-01 起正式施行，距离生效尚有 122 天。建议相关企业及实验室尽早开展标准宣贯与合规调整。
即将实施
国家标准
机械工业与装备制造
GB/T 47926-2026
半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范
Technical specification for maglev self-bearing clean pump for semiconductor applications
正式发布日期
2026-07-30
正式实施日期
2027-02-01
中国标准分类号 (CCS)
J71
国际标准分类号 (ICS)
23.08023
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
国家标准委
归口技术委员会
全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组
主要起草单位
苏州苏磁智能科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科（北京）科技有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、苏州智程半导体科技股份有限公司、宁波积硅电子材料有限公司、世源科技工程有限公司、浙江大学、中国科学院上海应用物理研究所、苏州大学、东南大学、天瑞磁浮智能制造（山东）有限公司、湖南凌翔磁浮科技有限责任公司、重庆凯磁医疗技术有限公司、槃实科技（深圳）有限公司、浙江高旋动力装备有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、山东磁悬浮产业技术研究院有限公司、兰州理工大学、兰州兰泵有限公司、杭州浙富核电设备有限公司、上海多宁生物科技股份有限公司。
主要起草人员
尹成科、段新颖、许璐、徐俊成、方泽华、华斌、唐步高、郑圣弘、胡亮、戴志敏、孙立宁、吴鹏、李致宇、周文武、郑士杰、崔庆文、祝长生、常燕、尤志强、王献忠、张人会、马柏青、吴鹏、顾红峰、赵宏宇、海弘毅、李志军、张健宇、王勇。
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-10-01
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 47926-2026
即将实施
● 现行有效版本 (当前页面)
半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范
正式发布：2026-07-30
实施施行：2027-02-01
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