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即将正式实施提醒
该标准将于 2026-10-17 起正式施行，距离生效尚有 15 天。建议相关企业及实验室尽早开展标准宣贯与合规调整。
即将实施
团体标准
M732 工程和技术研究和试验发展
T/SCASH 0010-2026
半导体设备用静电吸盘温度均匀性测试方法
正式发布日期
2026-09-19
正式实施日期
2026-10-17
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
上海硅酸盐工业协会
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
宁夏北瓷新材料科技有限公司苏州耀德半导体有限公司中国科学院上海硅酸盐研究所成都旭瓷新材料有限公司中材高新氮化物陶瓷有限公司成都旭光电子股份有限公司天津大学沈阳星光技术陶瓷有限公司钛亚特(宁夏)新材料科技有限公司宁夏北伏科技有限公司
主要起草人员
田印国黄海燕赖学明陈鹤拓成 罗宋 阳周国红王再义隋天一郝 岩李 镔王明清陈军平
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-29
标准范围与核心技术摘要
本文件适用于半导体制造领域中静电吸盘在真空环境下的温度均匀性测试。
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
T/SCASH 0010-2026
即将实施
● 现行有效版本 (当前页面)
半导体设备用静电吸盘温度均匀性测试方法
正式发布：2026-09-19
实施施行：2026-10-17
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