现行有效
团体标准
制造业
T/CEATEC 268-2026
半导体制造用温控设备（Chiller）通用技术规范
General technical specification for temperature control equipment (Chiller) for semiconductor manufacturing
正式发布日期
2026-08-26
正式实施日期
2026-08-26
中国标准分类号 (CCS)
暂未分类
国际标准分类号 (ICS)
暂未分类
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
中国欧洲经济技术合作协会
归口技术委员会
由主管部门直管或未单设
主要起草单位
北京京仪自动化装备技术股份有限公司吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司三河同飞制冷股份有限公司无锡冠亚恒温制冷技术有限公司成都中冷低温科技有限公司无锡暖芯半导体科技有限公司深圳市酷凌时代科技有限公司SMC自动化有限公司邯郸开发区精成温控科技有限公司杭州先导热电科技有限公司
主要起草人员
芮守祯曹小康莫科伟顾佳星颜厥枝杜中琪王光光朱元成蔡翼峰赵力蕃何茂栋张 翔仝高强余抒怡辛小赐邱俊翔刘岩松
国际标准采标情况
自主编制，未等同采用国际标准
最后同步校验时间
2026-09-28
标准范围与核心技术摘要
本文件规定了半导体制造用温控设备（Chiller）的型式与基本参数、功能要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于半导体制造用温控设备（Chiller）（以下简称“设备”）的生产与检验。
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自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
T/CEATEC 268-2026
现行
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半导体制造用温控设备（Chiller）通用技术规范
正式发布：2026-08-26
实施施行：2026-08-26
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