现行有效
国家标准
化工与新材料
GB/T 46057-2025
微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
正式发布日期
2025-08-29
正式实施日期
2026-03-01
中国标准分类号 (CCS)
G04
国际标准分类号 (ICS)
71.040.4071
📑 标准核心属性与编制信息
主管部门 / 发布部门
国家标准委
归口技术委员会
全国微束分析标准化技术委员会
主要起草单位
中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质研究院、安徽大学。
主要起草人员
丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民。
国际标准采标情况
ISO 21466:2019 (IDT (等同采用))
最后同步校验时间
2026-09-30
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⏳ 标准代际更迭与生命周期时间轴
自立项制定发布以来的历次版本替代演进历史链条
GB/T 46057-2025
现行
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微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
正式发布：2025-08-29
实施施行：2026-03-01
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